光学邻近校正的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710044547.1

申请日：

2007-08-03

公开(公告)号：

CN101359178A

公开(公告)日：

2009-02-04

发明(设计)人：

刘庆炜

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江路18号

IPC主分类号：

G03F714

IPC分类号：

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-01	授权	授权
2009-02-04	公开	公开
2009-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

用于光学邻近校正的方法 [P].

吕尚哲 .

韩国专利 :CN118033985A ,2024-05-14

[2]

校正光学邻近校正模型的方法 [P].

黄宜斌 .

中国专利 :CN103472672A ,2013-12-25

[3]

光学邻近校正模型的校正方法 [P].

王辉 ;

时雪龙 .

中国专利 :CN103631085A ,2014-03-12

[4]

光学邻近校正的修复方法 [P].

吴秉杰 ;

池明辉 ;

江嘉评 ;

吴俊宏 ;

吴明轩 ;

黄文俊 ;

刘如淦 .

中国专利 :CN107783369A ,2018-03-09

[5]

光学邻近校正方法及优化光学邻近校正模型的方法 [P].

杜杳隽 ;

沈泫 .

中国专利 :CN110221513B ,2019-09-10

[6]

光学邻近校正方法以及优化光学邻近校正模型的方法 [P].

程仁强 ;

王辉 .

中国专利 :CN104977797B ,2015-10-14

[7]

光学邻近校正方法 [P].

董明 .

中国专利 :CN112415847A ,2021-02-26

[8]

光学邻近校正方法 [P].

周从树 .

中国专利 :CN101995763A ,2011-03-30

[9]

光学邻近校正方法 [P].

张飞 .

中国专利 :CN101750878B ,2010-06-23

[10]

光学邻近校正方法 [P].

杜杳隽 ;

李亮 .

中国专利 :CN113759657A ,2021-12-07

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