一种硅微纳米结构的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201510901448.5
申请日
2015-12-10
公开(公告)号
CN105347345A
公开(公告)日
2016-02-24
发明(设计)人
彭奎庆 胡雅
申请人
申请人地址
100875 北京市海淀区新街口外大街19号
IPC主分类号
C01B33021
IPC分类号
B82Y4000
代理机构
代理人
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
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