一种硅微纳米结构制备装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711187804.7

申请日：

2017-11-24

公开(公告)号：

CN108205238A

公开(公告)日：

2018-06-26

发明(设计)人：

彭奎庆张付强付浩鑫勾宪芳霍晨亮

申请人：

申请人地址：

100875 北京市海淀区新街口外大街19号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-04	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/00 申请公布日:20180626
2018-06-26	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅微纳米结构的制备方法 [P].

彭奎庆 ;

胡雅 .

中国专利 :CN105347345A ,2016-02-24

[2]

一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法 [P].

彭奎庆 ;

胡雅 .

中国专利 :CN103553046A ,2014-02-05

[3]

一种新型硅微纳米结构制备技术 [P].

彭奎庆 ;

张付强 ;

付昊鑫 .

中国专利 :CN109545679A ,2019-03-29

[4]

一种多用途硅微纳米结构制备技术 [P].

彭奎庆 ;

王新 .

中国专利 :CN101540348B ,2009-09-23

[5]

一种一次制备微纳米结构的制备方法、微纳米结构及其应用 [P].

王磊 ;

唐守胜 ;

刘静 .

中国专利 :CN116022839B ,2024-10-22

[6]

一种制备硅纳米结构材料的方法 [P].

彭奎庆 ;

刘琳 .

中国专利 :CN103526299A ,2014-01-22

[7]

微纳米结构的制备方法 [P].

陈墨 ;

李群庆 ;

张立辉 ;

金元浩 ;

安东 ;

范守善 .

中国专利 :CN108132585B ,2018-06-08

[8]

一种制备金属微纳米结构的方法 [P].

刘泽 .

中国专利 :CN107572476B ,2018-01-12

[9]

一种单晶硅纳米结构的制备方法 [P].

赵安迪 ;

于晓梅 ;

王晓菲 ;

吴文刚 ;

董立泉 .

中国专利 :CN102205943A ,2011-10-05

[10]

一种微纳米结构的阳极材料、制备方法及应用 [P].

刘攀 ;

周裕民 ;

陶哲 ;

王鑫垚 .

中国专利 :CN120330776A ,2025-07-18

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