抛光浆料以及使用所述抛光浆料的衬底抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410432719.2

申请日：

2014-08-28

公开(公告)号：

CN104746080A

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

郑胜元

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道龙仁市处仁区阳智面鹤村路10

IPC主分类号：

C23F306

IPC分类号：

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

臧建明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101618652115 IPC(主分类):C23F 3/06 专利申请号:2014104327192 申请日:20140828
2015-07-01	公开	公开
2017-12-19	授权	授权

共 50 条

[1]

用于钨的抛光浆料以及衬底抛光方法 [P].

郑胜元 .

中国专利 :CN105839110A ,2016-08-10

[2]

钨抛光浆料和抛光衬底的方法 [P].

朴珍亨 .

中国专利 :CN106883766B ,2017-06-23

[3]

抛光浆料和通过使用抛光浆料抛光基板的方法 [P].

赵玹辰 ;

裵俊和 ;

秋秉权 ;

曹雨辰 ;

朴珍亨 .

中国专利 :CN110317538A ,2019-10-11

[4]

浆料和使用其的衬底抛光方法 [P].

朴珍亨 .

中国专利 :CN107011805A ,2017-08-04

[5]

抛光浆料和抛光方法 [P].

张力飞 ;

谢顺帆 ;

曹均助 ;

顾忠华 ;

刘洪涛 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN119490793A ,2025-02-21

[6]

抛光浆料 [P].

金大亨 ;

洪锡敏 ;

金容国 ;

金东炫 ;

徐明源 ;

朴在勤 ;

白云揆 .

中国专利 :CN1818002B ,2006-08-16

[7]

抛光浆料 [P].

L·刘 ;

D·克沃克 .

中国专利 :CN1200984C ,2002-01-30

[8]

抛光浆料 [P].

肖正龙 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN1865386B ,2006-11-22

[9]

抛光浆料 [P].

肖正龙 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN1865387A ,2006-11-22

[10]

抛光浆料 [P].

居振平 .

中国专利 :CN109929459A ,2019-06-25

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