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一种硅片载板
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023339580.7
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN213716861U
公开(公告)日：
2021-07-16
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
242074 安徽省宣城市经济技术开发区青弋江大道宣城科技园B19-1幢
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
C23C1654
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
安志娇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-16 | 授权 | 授权 |