一种拼接式硅片载板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422091959.2

申请日：

2024-08-28

公开(公告)号：

CN223079088U

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

陈学亮

申请人：

厦门市俊亦精密机械有限公司

申请人地址：

361000 福建省厦门市集美区董任路8-8号101室

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/68

代理机构：

厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101

代理人：

徐东峰

法律状态：

授权

国省代码：

福建省厦门市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片载板 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN213958935U ,2021-08-13

[2]

一种硅片载板 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN213716861U ,2021-07-16

[3]

一种拼接式载车板 [P].

郭晓辉 ;

李智昊 ;

高跃峰 ;

王婉聪 ;

位鹏 ;

孔令一 ;

权一男 ;

及盛勇 ;

张梅美 ;

杨盛华 ;

吴杨 .

中国专利 :CN211499970U ,2020-09-15

[4]

硅片载板 [P].

陈鹏 .

中国专利 :CN221226179U ,2024-06-25

[5]

一种拼接式芯片测试载板 [P].

钟滔 ;

杨阳 ;

孙志武 .

中国专利 :CN223389856U ,2025-09-26

[6]

硅片镀膜载板 [P].

张瞩君 .

中国专利 :CN201793736U ,2011-04-13

[7]

硅片镀膜载板 [P].

张鑫 ;

黄立根 ;

庄正军 ;

上官泉元 .

中国专利 :CN222631540U ,2025-03-18

[8]

拼接式PECVD载板导轨 [P].

尤耀明 ;

龚建新 .

中国专利 :CN203451618U ,2014-02-26

[9]

一种硅片载板校准平台 [P].

陈学亮 .

中国专利 :CN223006759U ,2025-06-20

[10]

一种硅片载板开槽装置 [P].

陈学亮 .

中国专利 :CN223185998U ,2025-08-05

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