一种在硅基片上生长单一取向的锆钛酸铅薄膜的方法

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专利类型
发明
申请号
CN00100116.7
申请日
2000-01-11
公开(公告)号
CN1303952A
公开(公告)日
2001-07-18
发明(设计)人
赵柏儒 林媛 彭海兵 郝昭 许波
申请人
申请人地址
100080北京市603信箱
IPC主分类号
C23C1408
IPC分类号
C23C1428
代理机构
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共 50 条
[1]
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[10]
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