点衍射移相式干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法

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专利类型
发明
申请号
CN201410016043.9
申请日
2014-01-14
公开(公告)号
CN103697808B
公开(公告)日
2014-04-02
发明(设计)人
马冬梅 张海涛 孙鸽 于杰
申请人
申请人地址
130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
IPC主分类号
G01B902
IPC分类号
代理机构
长春菁华专利商标代理事务所 22210
代理人
南小平
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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