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实时监测洁净度的洁净工作台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410724423.8
申请日：
2014-12-03
公开(公告)号：
CN104437706A
公开(公告)日：
2015-03-25
发明(设计)人：
冯金栋
黄元磊
吴峻
申请人：
申请人地址：
201706 上海市青浦区青浦工业园区崧泽大道6788号
IPC主分类号：
B01L902
IPC分类号：
B25H100
G01N1506
代理机构：
上海顺华专利代理有限责任公司 31203
代理人：
沈履君
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-10-12 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101739803014 IPC(主分类):B01L 9/02 专利申请号:2014107244238 申请公布日:20150325 |
| 2015-03-25 | 公开 | 公开 |