取代环戊二烯基钴络合物及其制造方法、含钴薄膜及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201680079068.0
申请日
2016-12-12
公开(公告)号
CN108473521A
公开(公告)日
2018-08-31
发明(设计)人
小礒尚之 山本有纪 尾池浩幸 早川哲平 古川泰志 多田贤一
申请人
申请人地址
日本山口县
IPC主分类号
C07F1900
IPC分类号
C07F1506 C07F1700 C23C1618 H01L2128 H01L21285
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
沈雪
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
单环戊二烯基络合物 [P]. 
S·米汉 ;
I·尼凡特埃夫 .
中国专利 :CN1729055A ,2006-02-01
[2]
单环戊二烯基络合物 [P]. 
S·米汉 ;
M·恩德尔斯 ;
P·费尔南德斯 .
中国专利 :CN1894267A ,2007-01-10
[3]
单环戊二烯基络合物 [P]. 
S·米汉 ;
I·尼范特埃夫 .
中国专利 :CN100334098C ,2005-10-26
[4]
钌络合物及其制造方法以及含钌薄膜的制作方法 [P]. 
多田贤一 ;
山本俊树 ;
尾池浩幸 ;
摩庭笃 ;
千叶洋一 ;
岩永宏平 ;
河野和久 .
中国专利 :CN104903337A ,2015-09-09
[5]
包含脒和取代的环戊二烯基配体的金属络合物 [P]. 
彼得·卡鲍姆 ;
理查德·托马斯·威廉姆·斯科特 ;
约翰·范德莫斯迪克 .
中国专利 :CN106687468A ,2017-05-17
[6]
具有桥联环戊二烯基脒配体的金属络合物 [P]. 
亚历山德拉·伯绍德 ;
维克托·基罗加·诺拉姆布埃纳 ;
格哈德·范多雷梅勒 ;
马丁·亚历山大·朱伊德弗尔德 ;
菲利普·芒福德 ;
理查德·托马斯·威廉·斯科特 .
中国专利 :CN105209472A ,2015-12-30
[7]
含有环戊二烯基和脒配体的双金属络合物 [P]. 
亚历山德拉·伯绍德 ;
赫拉德·范多雷梅勒 ;
维克托·基罗加·诺拉姆布埃纳 ;
理查德·托马斯·威廉·斯科特 ;
马丁·亚历山大·朱伊德弗尔德 ;
亨利克斯·约翰内斯·阿尔茨 .
中国专利 :CN105324388A ,2016-02-10
[8]
有机钴络合物的制造方法 [P]. 
徐建成 ;
肖刚 .
中国专利 :CN108997774B ,2018-12-14
[9]
钴配合物、其制造方法、以及含钴薄膜的制造方法 [P]. 
尾池浩幸 ;
早川哲平 ;
山本有纪 ;
古川泰志 ;
多田贤一 .
中国专利 :CN112839924A ,2021-05-25
[10]
氨基环戊二烯合钌络合物及其制备 [P]. 
朴载旭 ;
金万柱 ;
崔畯皓 ;
安须 .
中国专利 :CN1622950A ,2005-06-01