对准方法及对准系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110140288.2

申请日：

2021-02-02

公开(公告)号：

CN112838038A

公开(公告)日：

2021-05-25

发明(设计)人：

温海涛王绍勇王连胜康颖张健

申请人：

申请人地址：

110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20210202
2021-05-25	公开	公开

共 50 条

[1]

对准方法及对准系统 [P].

温海涛 ;

王绍勇 ;

王连胜 ;

康颖 ;

张健 .

中国专利 :CN112838038B ,2024-05-28

[2]

对准系统及对准方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

江博闻 ;

蒋璐翔 .

中国专利 :CN112710237B ,2021-04-27

[3]

对准方法及对准系统 [P].

张强 ;

郝静安 .

中国专利 :CN107367911A ,2017-11-21

[4]

对准系统及对准方法 [P].

吴兆明 .

中国专利 :CN100451838C ,2006-01-04

[5]

校准装置、对准系统及对准方法 [P].

温海涛 ;

陈兴隆 ;

王绍勇 ;

王丽鹤 ;

王若愚 .

中国专利 :CN112768393A ,2021-05-07

[6]

校准装置、对准系统及对准方法 [P].

温海涛 ;

陈兴隆 ;

王绍勇 ;

王丽鹤 ;

王若愚 .

中国专利 :CN112768393B ,2024-09-17

[7]

对准系统、对准方法及程序 [P].

李伟浩 ;

浅野祐司 ;

杉山佳大 .

日本专利 :CN119301537A ,2025-01-10

[8]

对准系统及对准标记 [P].

郑谕潍 ;

陈建豪 .

中国专利 :CN114384769B ,2024-05-14

[9]

对准系统及对准标记 [P].

郑谕潍 ;

陈建豪 .

中国专利 :CN114384769A ,2022-04-22

[10]

对准方法、对准系统及光刻设备 [P].

田润丰 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN117742092A ,2024-03-22

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