对准系统及对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510088148.6

申请日：

2005-07-29

公开(公告)号：

CN100451838C

公开(公告)日：

2006-01-04

发明(设计)人：

吴兆明

申请人：

申请人地址：

台湾新竹市

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900 H01L21027

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-01-14	授权	授权
2021-07-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20050729 授权公告日:20090114 终止日期:20200729
2006-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-01-04	公开	公开

共 50 条

[1]

对准方法及对准系统 [P].

温海涛 ;

王绍勇 ;

王连胜 ;

康颖 ;

张健 .

中国专利 :CN112838038A ,2021-05-25

[2]

对准系统及对准方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

江博闻 ;

蒋璐翔 .

中国专利 :CN112710237B ,2021-04-27

[3]

对准方法及对准系统 [P].

张强 ;

郝静安 .

中国专利 :CN107367911A ,2017-11-21

[4]

对准方法及对准系统 [P].

温海涛 ;

王绍勇 ;

王连胜 ;

康颖 ;

张健 .

中国专利 :CN112838038B ,2024-05-28

[5]

对准系统、对准方法及程序 [P].

李伟浩 ;

浅野祐司 ;

杉山佳大 .

日本专利 :CN119301537A ,2025-01-10

[6]

硅片对准系统 [P].

孙刚 ;

朱健 .

中国专利 :CN101487991A ,2009-07-22

[7]

对准系统及对准标记 [P].

郑谕潍 ;

陈建豪 .

中国专利 :CN114384769B ,2024-05-14

[8]

对准系统及对准标记 [P].

郑谕潍 ;

陈建豪 .

中国专利 :CN114384769A ,2022-04-22

[9]

半导体晶片对准系统及对准方法 [P].

金在顺 .

中国专利 :CN1112720C ,1999-06-16

[10]

校准装置、对准系统及对准方法 [P].

温海涛 ;

陈兴隆 ;

王绍勇 ;

王丽鹤 ;

王若愚 .

中国专利 :CN112768393A ,2021-05-07

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