半导体晶片对准系统及对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN98117490.6

申请日：

1998-09-08

公开(公告)号：

CN1112720C

公开(公告)日：

1999-06-16

发明(设计)人：

金在顺

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

G03B302

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

谢丽娜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-06-25	授权	授权
1999-03-10	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
1999-06-16	公开	公开
2010-09-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101005914664 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL981174906 申请日:19980908 授权公告日:20030625

共 50 条

[1]

半导体晶片缺陷检验系统及半导体晶片图像对准的方法 [P].

D·道林 ;

T·辛格 ;

B·布拉尔 ;

S·巴塔查里亚 ;

B·曼蒂普利 ;

李胡成 ;

李晓春 ;

S·S·帕克 .

中国专利 :CN112789713B ,2021-05-11

[2]

对准系统及对准方法 [P].

吴兆明 .

中国专利 :CN100451838C ,2006-01-04

[3]

具有预对准图案的半导体晶片和预对准半导体晶片的方法 [P].

王盈盈 .

中国专利 :CN101986427A ,2011-03-16

[4]

半导体器件的对准方法及其对准系统 [P].

严杰 ;

王桂晨 ;

傅焰峰 .

中国专利 :CN114242636A ,2022-03-25

[5]

半导体器件的对准方法及其对准系统 [P].

严杰 ;

王桂晨 ;

傅焰峰 .

中国专利 :CN114242636B ,2025-01-28

[6]

对准方法及对准系统 [P].

温海涛 ;

王绍勇 ;

王连胜 ;

康颖 ;

张健 .

中国专利 :CN112838038A ,2021-05-25

[7]

对准系统及对准方法 [P].

陈鲁 ;

李青格乐 ;

江博闻 ;

蒋璐翔 .

中国专利 :CN112710237B ,2021-04-27

[8]

对准方法及对准系统 [P].

张强 ;

郝静安 .

中国专利 :CN107367911A ,2017-11-21

[9]

对准方法及对准系统 [P].

温海涛 ;

王绍勇 ;

王连胜 ;

康颖 ;

张健 .

中国专利 :CN112838038B ,2024-05-28

[10]

半导体掩模版精密对准系统 [P].

郁镇宇 .

中国专利 :CN118534739A ,2024-08-23

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