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半导体器件的对准方法及其对准系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111547075.8
申请日：
2021-12-16
公开(公告)号：
CN114242636B
公开(公告)日：
2025-01-28
发明(设计)人：
严杰
王桂晨
傅焰峰
申请人：
武汉光谷信息光电子创新中心有限公司
申请人地址：
430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区关山街邮科院路88号1幢1-3层
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
H01L23/544
H01L21/67
代理机构：
北京派特恩知识产权代理有限公司 11270
代理人：
张雪;浦彩华
法律状态：
授权
国省代码：
湖北省
武汉市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-28 | 授权 | 授权 |