一种自支撑微米厚度硅隔膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110797789.8

申请日：

2021-07-15

公开(公告)号：

CN113651291A

公开(公告)日：

2021-11-16

发明(设计)人：

陈宜方李艺杰

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

G21K106

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;陆尤

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-16	公开	公开
2021-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20210715

共 50 条

[1]

无衬底支撑的悬空厚金波带片透镜的制备方法 [P].

陈宜方 ;

李欣 ;

徐晨 ;

张思超 ;

朱静远 ;

谢珊珊 ;

陆冰睿 .

中国专利 :CN109243662B ,2019-01-18

[2]

一种亚微米尺寸二维介质柱型光子晶体的制备方法 [P].

曹远迎 ;

李耀耀 ;

张永刚 ;

顾溢 ;

王凯 .

中国专利 :CN102260870A ,2011-11-30

[3]

一种纳米厚度薄膜的制备方法 [P].

柳可 .

中国专利 :CN109580718A ,2019-04-05

[4]

一种微米硅粉的制备方法 [P].

周云辉 ;

王旭峰 ;

李飞 ;

胡延韶 ;

谷小虎 ;

王丽 ;

张静 ;

吴祖杰 ;

李龙 ;

刘广山 ;

杨旭 ;

王育红 ;

方世东 .

中国专利 :CN111137896A ,2020-05-12

[5]

一种硅微米线阵列的制备工艺 [P].

吴绍龙 ;

严继木 ;

李孝峰 ;

翟雄飞 ;

高翔 .

中国专利 :CN105789042B ,2016-07-20

[6]

倒漏斗形硅基实心微针阵列的制备方法 [P].

朱五林 ;

李宝庆 ;

谢兰胜 ;

吕庆贵 .

中国专利 :CN109173039B ,2019-01-11

[7]

一种形成螺丝帽状硅通孔的刻蚀方法 [P].

李全宝 .

中国专利 :CN106449397A ,2017-02-22

[8]

一种基于纳米球刻蚀技术制备硅纳米柱阵列的方法 [P].

李静 ;

岳闯 ;

尹君 ;

臧雅姝 ;

何绪 ;

吴孙桃 .

中国专利 :CN102633230A ,2012-08-15

[9]

一种中红外激光器的制备方法 [P].

李耀耀 ;

李爱珍 ;

张永刚 ;

丁惠凤 ;

李好斯白音 .

中国专利 :CN102593718A ,2012-07-18

[10]

一种硅薄膜转移的方法 [P].

薛忠营 ;

周天浩 ;

高远 ;

魏星 ;

常永伟 .

中国专利 :CN120709138A ,2025-09-26

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