一种纳米厚度薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811620799.9

申请日：

2018-12-28

公开(公告)号：

CN109580718A

公开(公告)日：

2019-04-05

发明(设计)人：

柳可

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301号银星科技大厦129

IPC主分类号：

G01N2700

IPC分类号：

G01N2726 C23C1634 B82Y3000 B82Y4000

代理机构：

深圳市嘉宏博知识产权代理事务所 44273

代理人：

李杰

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N 27/00 申请公布日:20190405
2019-04-05	公开	公开
2019-04-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/00 申请日:20181228

共 50 条

[1]

一种碳纳米管薄膜晶体管的制备方法 [P].

司荣美 ;

王丽宁 .

中国专利 :CN111063803A ,2020-04-24

[2]

一种自支撑金属纳米孔薄膜的制备方法 [P].

张雪峰 ;

张鉴 ;

姚小莉 .

中国专利 :CN108557754B ,2018-09-21

[3]

一种无水泡的低应力氮化硅薄膜制作方法 [P].

陈曦 ;

王俊力 .

中国专利 :CN109972117A ,2019-07-05

[4]

悬浮金属纳米间隙对结构的制备方法 [P].

顾长志 ;

王玉瑾 ;

李俊杰 ;

全保刚 .

中国专利 :CN105858597A ,2016-08-17

[5]

制备纳米薄膜的方法 [P].

李秋成 .

中国专利 :CN1614083A ,2005-05-11

[6]

一种纳米网的制备方法 [P].

张青竹 ;

田佳佳 ;

李俊杰 ;

吴次南 ;

张兆浩 ;

殷华湘 ;

刘战峰 ;

毛淑娟 ;

张静 ;

王文武 ;

屠海令 .

中国专利 :CN113173553A ,2021-07-27

[7]

一种YBCO纳米线的制备方法 [P].

熊杰 ;

刘雨晴 ;

罗正扬 ;

汪洋 ;

马惠琴 ;

徐宏伟 ;

李宗沛 ;

邵明昕 ;

杜新川 ;

杨超 ;

李鹏 .

中国专利 :CN118591267A ,2024-09-03

[8]

一种高厚度均匀性聚酰亚胺薄膜衍射透镜的制备方法 [P].

杨正 ;

吴鹏 ;

靳志伟 ;

饶先花 ;

尹韶云 .

中国专利 :CN110618482A ,2019-12-27

[9]

一种自支撑微米厚度硅隔膜的制备方法 [P].

陈宜方 ;

李艺杰 .

中国专利 :CN113651291A ,2021-11-16

[10]

一种垂直纳米线阵列的制备方法 [P].

田佳佳 ;

张青竹 ;

李俊杰 ;

吴次南 ;

张兆浩 ;

殷华湘 ;

张静 ;

王文武 .

中国专利 :CN113173557A ,2021-07-27

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