制备纳米薄膜的方法

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专利类型
发明
申请号
CN200310106942.X
申请日
2003-11-06
公开(公告)号
CN1614083A
公开(公告)日
2005-05-11
发明(设计)人
李秋成
申请人
申请人地址
300100天津市南开区西门内大街任家南横胡24号
IPC主分类号
C23C1624
IPC分类号
代理机构
天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人
曹玉平
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[3]
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