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制备纳米薄膜的系统及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710349730.6
申请日：
2017-05-17
公开(公告)号：
CN107267918A
公开(公告)日：
2017-10-20
发明(设计)人：
张启辉
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新南六道航盛科技大厦6楼6677
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
C23C1456
B82Y4000
代理机构：
深圳市明日今典知识产权代理事务所(普通合伙) 44343
代理人：
王杰辉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-10-20 | 公开 | 公开 |
| 2018-06-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20170517 |
| 2020-07-21 | 专利权的视为放弃 | 专利权的视为放弃 IPC(主分类):C23C 14/22 放弃生效日:20200721 |