MEMS传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010142181.3

申请日：

2010-01-28

公开(公告)号：

CN101792110A

公开(公告)日：

2010-08-04

发明(设计)人：

仲谷吾郎

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

G01P15125 G01H1106

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

刘建

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-04	公开	公开
2014-09-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101705010772 IPC(主分类):B81B 7/02 专利申请号:2010101421813 申请公布日:20100804
2012-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101199760924 IPC(主分类):B81B 7/02 专利申请号:2010101421813 申请日:20100128

共 50 条

[1]

MEMS传感器 [P].

高桥亨 ;

牛肠英纪 ;

小林洁 .

中国专利 :CN102160185B ,2011-08-17

[2]

MEMS传感器 [P].

樱木正広 .

日本专利 :CN118145587A ,2024-06-07

[3]

MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN215288002U ,2021-12-24

[4]

MEMS传感器 [P].

王凯 ;

陈虎 ;

刘国俊 .

中国专利 :CN206488866U ,2017-09-12

[5]

MEMS传感器 [P].

刘清惓 ;

李海涛 ;

韩晓丹 ;

曹鸿霞 .

中国专利 :CN103743789A ,2014-04-23

[6]

MEMS传感器 [P].

托马斯·弗勒利希 ;

马克·尼德伯格 ;

科林·斯蒂尔 ;

雷内·朔伊纳 ;

托马斯·克里斯坦 ;

卢卡斯·佩尔克托尔德 ;

范维东 .

中国专利 :CN109983692A ,2019-07-05

[7]

MEMS传感器 [P].

邹泉波 ;

冷群文 .

中国专利 :CN109246566A ,2019-01-18

[8]

MEMS传感器 [P].

徐香菊 .

中国专利 :CN209065411U ,2019-07-05

[9]

MEMS传感器 [P].

田中健一 ;

大川尚信 ;

矢泽久幸 ;

朝比奈宏行 ;

臼井学 ;

石曽根昌彦 ;

梅津英治 .

中国专利 :CN104760923A ,2015-07-08

[10]

MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN112758884B ,2025-02-25

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