一种托卡马克灰尘兆声波清洗装置及清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110023638.3

申请日：

2011-01-21

公开(公告)号：

CN102157207A

公开(公告)日：

2011-08-17

发明(设计)人：

马玉田张颖吕广宏王波

申请人：

申请人地址：

100191 北京市海淀区学院路37号

IPC主分类号：

G21B125

IPC分类号：

H05H124

代理机构：

北京永创新实专利事务所 11121

代理人：

官汉增

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-17	公开	公开
2015-03-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101602178499 IPC(主分类):G21B 1/25 专利号:ZL2011100236383 申请日:20110121 授权公告日:20120905 终止日期:20140121
2012-09-05	授权	授权
2011-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101113914203 IPC(主分类):G21B 1/25 专利申请号:2011100236383 申请日:20110121

共 50 条

[1]

兆声波清洗方法、装置及兆声波清洗设备 [P].

李嘉浪 ;

周庆亚 ;

田洪涛 ;

张金环 ;

杨旭 ;

李婷 ;

蒋锡兵 .

中国专利 :CN109742016A ,2019-05-10

[2]

兆声波清洗头及具有该清洗头的兆声波清洗系统 [P].

初国超 ;

吴仪 .

中国专利 :CN202290654U ,2012-07-04

[3]

兆声波清洗头及具有该清洗头的兆声波清洗系统 [P].

初国超 ;

吴仪 .

中国专利 :CN102327883A ,2012-01-25

[4]

兆声波清洗槽及兆声波清洗机 [P].

李石雷 .

中国专利 :CN119634336A ,2025-03-18

[5]

兆声波清洗器 [P].

刘亚文 .

中国专利 :CN209424185U ,2019-09-24

[6]

一种用于半导体基片兆声波清洗装置 [P].

陈波 ;

夏洋 ;

李楠 .

中国专利 :CN106391557A ,2017-02-15

[7]

一种超声波-兆声波复合频率全自动光学元件清洗装置 [P].

王占山 ;

沈正祥 ;

丁涛 ;

来颖 ;

江浩 ;

苏静 ;

崔勇 .

中国专利 :CN105195465A ,2015-12-30

[8]

超声波/兆声波清洗槽 [P].

左国军 ;

杜茂林 ;

李晶晶 ;

张凯 ;

巩振江 ;

尹丽英 ;

赵俊 .

中国专利 :CN117019761B ,2024-01-23

[9]

双层式兆声波清洗系统 [P].

唐宝国 ;

丁立 .

中国专利 :CN114273328B ,2024-04-12

[10]

兆声波清洗机 [P].

刘志鹏 ;

屠国强 ;

刘大威 .

中国专利 :CN308899353S ,2024-10-22

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