一种用于半导体基片兆声波清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510450093.2

申请日：

2015-07-28

公开(公告)号：

CN106391557A

公开(公告)日：

2017-02-15

发明(设计)人：

陈波夏洋李楠

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

刘杰

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-15	公开	公开
2020-03-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B08B 3/12 申请公布日:20170215
2017-03-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101707274043 IPC(主分类):B08B 3/12 专利申请号:2015104500932 申请日:20150728

共 50 条

[1]

兆声波半导体晶圆清洗装置 [P].

梁珍友 ;

韩琴琴 ;

韩亮亮 .

中国专利 :CN119542248B ,2025-04-08

[2]

兆声波半导体晶圆清洗装置 [P].

梁珍友 ;

韩琴琴 ;

韩亮亮 .

中国专利 :CN119542248A ,2025-02-28

[3]

兆声波清洗器 [P].

刘亚文 .

中国专利 :CN209424185U ,2019-09-24

[4]

全自动兆声波半导体晶圆清洗设备 [P].

高辉武 ;

曾志家 .

中国专利 :CN203553111U ,2014-04-16

[5]

全自动兆声波半导体晶圆清洗设备 [P].

高辉武 ;

曾志家 .

中国专利 :CN103489814A ,2014-01-01

[6]

兆声波清洗方法、装置及兆声波清洗设备 [P].

李嘉浪 ;

周庆亚 ;

田洪涛 ;

张金环 ;

杨旭 ;

李婷 ;

蒋锡兵 .

中国专利 :CN109742016A ,2019-05-10

[7]

兆声波清洗槽及兆声波清洗机 [P].

李石雷 .

中国专利 :CN119634336A ,2025-03-18

[8]

兆声波清洗头及具有该清洗头的兆声波清洗系统 [P].

初国超 ;

吴仪 .

中国专利 :CN202290654U ,2012-07-04

[9]

兆声波清洗头及具有该清洗头的兆声波清洗系统 [P].

初国超 ;

吴仪 .

中国专利 :CN102327883A ,2012-01-25

[10]

一种托卡马克灰尘兆声波清洗装置及清洗方法 [P].

马玉田 ;

张颖 ;

吕广宏 ;

王波 .

中国专利 :CN102157207A ,2011-08-17

← 1 2 3 4 5 →