兆声波半导体晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510106520.9

申请日：

2025-01-23

公开(公告)号：

CN119542248B

公开(公告)日：

2025-04-08

发明(设计)人：

梁珍友韩琴琴韩亮亮

申请人：

深圳绿源轩电子技术有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市光明区光明街道白花社区第一工业区华尔特工业园厂房D栋601

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

B08B3/12 H01L21/67

代理机构：

深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411

代理人：

黄山

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-08	授权	授权
2025-02-28	公开	公开
2025-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20250123

共 50 条

[1]

兆声波半导体晶圆清洗装置 [P].

梁珍友 ;

韩琴琴 ;

韩亮亮 .

中国专利 :CN119542248A ,2025-02-28

[2]

全自动兆声波半导体晶圆清洗设备 [P].

高辉武 ;

曾志家 .

中国专利 :CN203553111U ,2014-04-16

[3]

全自动兆声波半导体晶圆清洗设备 [P].

高辉武 ;

曾志家 .

中国专利 :CN103489814A ,2014-01-01

[4]

一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备及方法 [P].

梁珍友 ;

韩亮亮 .

中国专利 :CN119297126B ,2025-04-04

[5]

一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备及方法 [P].

梁珍友 ;

韩亮亮 .

中国专利 :CN119297126A ,2025-01-10

[6]

一种用于半导体基片兆声波清洗装置 [P].

陈波 ;

夏洋 ;

李楠 .

中国专利 :CN106391557A ,2017-02-15

[7]

半导体晶圆清洗装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 .

中国专利 :CN203862609U ,2014-10-08

[8]

半导体晶圆清洗装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 .

中国专利 :CN103878141A ,2014-06-25

[9]

半导体晶圆背部清洗装置 [P].

李一航 .

中国专利 :CN221747169U ,2024-09-20

[10]

半导体晶圆的清洗装置 [P].

梅力 ;

胡冬云 .

中国专利 :CN115069639A ,2022-09-20

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