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全自动兆声波半导体晶圆清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310440054.5
申请日：
2013-09-24
公开(公告)号：
CN103489814A
公开(公告)日：
2014-01-01
发明(设计)人：
高辉武
曾志家
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市光明新区公明办事处田寮社区光侨路高科科技园第1栋（光明高新园区西片区）第3层1号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
B08B312
B08B302
代理机构：
深圳市精英专利事务所 44242
代理人：
李新林
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-05 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:东莞市凯迪微清洗技术有限公司 变更后:东莞市凯迪微智能装备有限公司 变更事项:地址 变更前:523000 广东省东莞市大朗镇洋乌村景富东路38号A1栋3楼302 变更后:523000 广东省东莞市大朗镇洋乌村景富东路38号A1栋3楼302 |
| 2020-05-29 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20200509 变更事项:专利权人 变更前权利人:深圳市凯尔迪光电科技有限公司 变更后权利人:东莞市凯迪微清洗技术有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:518000 广东省深圳市光明新区公明办事处田寮社区光侨路高科科技园第1栋（光明高新园区西片区）第3层1号 变更后权利人:523000 广东省东莞市大朗镇洋乌村景富东路38号A1栋3楼302 |
| 2015-12-02 | 授权 | 授权 |
| 2014-02-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101567140299 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2013104400545 申请日:20130924 |
| 2014-01-01 | 公开 | 公开 |