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一种半导体晶圆喷头式兆声波清洗设备及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411821014.X
申请日：
2024-12-11
公开(公告)号：
CN119297126A
公开(公告)日：
2025-01-10
发明(设计)人：
梁珍友
韩亮亮
申请人：
深圳绿源轩电子技术有限公司
申请人地址：
518106 广东省深圳市光明区光明街道白花社区第一工业区华尔特工业园厂房D栋601
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/02
H01L21/687
B08B3/12
代理机构：
宁波泽锐专利代理事务所(普通合伙) 33547
代理人：
万仁彦
法律状态：
公开
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-10 | 公开 | 公开 |
| 2025-01-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241211 |
| 2025-04-04 | 授权 | 授权 |