光刻机环境监测系统及其远程监控系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621282435.0

申请日：

2016-11-25

公开(公告)号：

CN206292531U

公开(公告)日：

2017-06-30

发明(设计)人：

付印凯

申请人：

申请人地址：

300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路167号133、302、303、305、306、307、309、310

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

马维丽

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-07	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:天津津芯微电子科技有限公司变更后:浙江津芯微电子科技有限公司变更事项:地址变更前:300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路167号133、302、303、305、306、307、309、310 变更后:311100 浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路16号3幢204-5室
2017-06-30	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机设备系统及光刻机远程监控系统 [P].

王新旺 .

中国专利 :CN206946192U ,2018-01-30

[2]

远程环境监测系统 [P].

罗盛 ;

赵立安 ;

王国泰 ;

俞松耀 .

中国专利 :CN202600958U ,2012-12-12

[3]

远程环境监测系统 [P].

谭琦 ;

庾嘉雨 ;

房栋 ;

王高鹏 ;

张瑞龙 ;

聂莉敏 ;

林广生 .

中国专利 :CN211877903U ,2020-11-06

[4]

环境监测系统 [P].

蒲中奇 ;

王珍华 .

中国专利 :CN209233849U ,2019-08-09

[5]

环境监测系统 [P].

苏晶晶 ;

李江龙 ;

邵文静 ;

万丽华 ;

付雪 .

中国专利 :CN206488812U ,2017-09-12

[6]

环境监测系统 [P].

郭潍嘉 .

中国专利 :CN209541799U ,2019-10-25

[7]

光刻机产能监测系统 [P].

张杰 ;

刘惠然 ;

梁非 ;

龚毅 .

中国专利 :CN103293878B ,2013-09-11

[8]

远程环境监测数据采集系统 [P].

王晓虹 ;

徐勇 ;

徐晨风 .

中国专利 :CN2898945Y ,2007-05-09

[9]

山区茶园远程环境监测系统 [P].

诸葛天秋 ;

于钟平 ;

罗跃新 ;

张飙 ;

杨小平 ;

刘源 ;

邓慧群 .

中国专利 :CN203415085U ,2014-01-29

[10]

农业环境监测系统及其监测装置 [P].

钱昕 ;

金曦 ;

芮文艳 .

中国专利 :CN204705375U ,2015-10-14

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