光刻机产能监测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310213481.X

申请日：

2013-05-31

公开(公告)号：

CN103293878B

公开(公告)日：

2013-09-11

发明(设计)人：

张杰刘惠然梁非龚毅

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高斯路497号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-15	授权	授权
2013-10-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101529132309 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201310213481X 申请日:20130531
2013-09-11	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻机气压控制及监测系统、方法和光刻机 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

谢婉露 ;

沙鹏飞 ;

李慧 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN114280894A ,2022-04-05

[2]

一种光刻机的监测系统及光刻机的监测方法 [P].

白兰萍 ;

敖松泉 .

中国专利 :CN101324758A ,2008-12-17

[3]

光刻机照明系统及光刻机 [P].

金成昱 ;

金帅炯 ;

梁贤石 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

刘金彪 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114675494A ,2022-06-28

[4]

一种光刻机光源漏光监测系统 [P].

牟宏惺 .

中国专利 :CN207281466U ,2018-04-27

[5]

光刻机外围设备集成监测系统及监测方法 [P].

杨青 ;

韩雍 ;

谢华 ;

陈欣健 ;

高姝怿 .

中国专利 :CN113406864A ,2021-09-17

[6]

徐程 ;

宋兴龙 .

中国专利 :CN302290339S ,2013-01-16

[7]

郭耸 ;

徐程 .

中国专利 :CN302441447S ,2013-05-22

[8]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[9]

张宾 .

中国专利 :CN218350710U ,2023-01-20

[10]

袁伟 .

中国专利 :CN102495536A ,2012-06-13

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