光刻机外围设备集成监测系统及监测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110566978.4

申请日：

2021-05-24

公开(公告)号：

CN113406864A

公开(公告)日：

2021-09-17

发明(设计)人：

杨青韩雍谢华陈欣健高姝怿

申请人：

申请人地址：

200331 上海市普陀区真陈路200号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01D2102

代理机构：

上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) 31289

代理人：

肖进

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-17	公开	公开
2021-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20210524

共 50 条

[1]

一种光刻机的监测系统及光刻机的监测方法 [P].

白兰萍 ;

敖松泉 .

中国专利 :CN101324758A ,2008-12-17

[2]

光刻机气压控制及监测系统、方法和光刻机 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

谢婉露 ;

沙鹏飞 ;

李慧 ;

韩晓泉 .

中国专利 :CN114280894A ,2022-04-05

[3]

光刻机产能监测系统 [P].

张杰 ;

刘惠然 ;

梁非 ;

龚毅 .

中国专利 :CN103293878B ,2013-09-11

[4]

外围设备的功耗监测 [P].

林德岳 ;

庄皓丞 ;

钱建中 .

美国专利 :CN112074745B ,2024-05-10

[5]

外围设备的功耗监测 [P].

林德岳 ;

庄皓丞 ;

钱建中 .

中国专利 :CN112074745A ,2020-12-11

[6]

监测光刻机焦距的方法 [P].

周侃 ;

赵弘文 .

中国专利 :CN119247693B ,2025-10-31

[7]

监测光刻机焦距的方法 [P].

周侃 ;

赵弘文 .

中国专利 :CN119247693A ,2025-01-03

[8]

一种光刻机真空设备故障监测方法及系统 [P].

孙佳鑫 ;

张亮 ;

孙涛 .

中国专利 :CN119247700A ,2025-01-03

[9]

外围设备运行方法、外围设备及主机 [P].

李吉林 ;

吴古政 ;

魏东 .

中国专利 :CN101046783A ,2007-10-03

[10]

外围设备运行方法、外围设备及主机 [P].

李吉林 ;

吴古政 ;

魏东 .

中国专利 :CN101051279B ,2007-10-10

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