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等离子镀膜执行终端及等离子镀膜装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011156984.4
申请日：
2020-10-26
公开(公告)号：
CN112159960A
公开(公告)日：
2021-01-01
发明(设计)人：
吕尚亿
丁雪苗
赵公魄
赵芝强
申请人：
申请人地址：
519040 广东省珠海市金湾区红旗镇东成路118号2号厂房一至三层之一
IPC主分类号：
C23C1432
IPC分类号：
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
别亮亮
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/32 申请日:20201026 |
| 2021-01-01 | 公开 | 公开 |