一种晶圆片自动传片装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021687490.4

申请日：

2020-08-13

公开(公告)号：

CN212991062U

公开(公告)日：

2021-04-16

发明(设计)人：

林鑫林志东王勇张灿秋

申请人：

申请人地址：

361000 福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204

代理人：

连耀忠;杨锴

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-16	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆检测自动传片装置 [P].

沈军 .

中国专利 :CN222462868U ,2025-02-11

[2]

一种多功能晶圆片传片装置 [P].

尚荣耀 ;

洪常峰 ;

涂培明 ;

张建仁 .

中国专利 :CN207367946U ,2018-05-15

[3]

一种自动晶圆传片器 [P].

段克波 .

中国专利 :CN114284187A ,2022-04-05

[4]

一种自动晶圆传片器 [P].

段克波 .

中国专利 :CN114284187B ,2025-02-11

[5]

一种晶圆片换片装置 [P].

旷贤国 ;

李佳晖 .

中国专利 :CN221282067U ,2024-07-05

[6]

一种晶圆片叠片装置 [P].

陈飞 ;

孙月平 .

中国专利 :CN216624223U ,2022-05-27

[7]

全自动晶圆传片器 [P].

段克波 .

中国专利 :CN306811183S ,2021-09-07

[8]

一种多工位晶圆夹取传片装置 [P].

史志贺 ;

张勇 ;

陆鸣 .

中国专利 :CN217971492U ,2022-12-06

[9]

一种用于晶圆片的自动定位检测装置 [P].

刘振辉 ;

肖乐 ;

林港睿 ;

王胜利 ;

杨波 .

中国专利 :CN209183527U ,2019-07-30

[10]

一种晶圆片承载装置 [P].

裴坤羽 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

刘园 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN213905330U ,2021-08-06

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