带难熔金属衬里的铜栓结构

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专利类型
发明
申请号
CN98119730.2
申请日
1998-09-29
公开(公告)号
CN1149653C
公开(公告)日
1999-04-14
发明(设计)人
J·M·E·哈柏 R·M·格夫肯
申请人
申请人地址
美国纽约州
IPC主分类号
H01L21768
IPC分类号
H01L2128 H01L213205 H01L2131 H01L2352
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司
代理人
邹光新;王忠忠
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
难熔金属退火带 [P]. 
P·库马 ;
J·杜尔哈姆 ;
R·R·马伦 ;
H·V·戈德伯格 ;
H·乌伦哈特 .
中国专利 :CN1744961A ,2006-03-08
[2]
难熔金属钨的研制结构 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN109865843A ,2019-06-11
[3]
一种铸造难熔金属的方法及难熔金属锭 [P]. 
杨德江 ;
孙岩 .
中国专利 :CN110125344A ,2019-08-16
[4]
一种铸造难熔金属的方法及难熔金属锭 [P]. 
杨德江 ;
孙岩 .
中国专利 :CN110125344B ,2024-08-23
[5]
用于研磨难熔金属和难熔金属合金的系统和方法 [P]. 
M.L.哈米顿 .
中国专利 :CN103249527A ,2013-08-14
[6]
由难熔金属构成的部件 [P]. 
格哈德·莱希特弗里德 ;
卢卡斯·卡塞勒 ;
雅各布·布劳恩 ;
海因里希·凯斯特勒 .
:CN118201728A ,2024-06-14
[7]
铜金属镶嵌结构 [P]. 
吴振诚 ;
卢永诚 ;
章勋明 .
中国专利 :CN2731711Y ,2005-10-05
[8]
制备抗蠕变难熔金属结构的方法 [P]. 
D·M·莱恩曼 ;
P·R·格尔泽西克 ;
I·M·斯莱特 ;
W·R·鲍威尔 .
中国专利 :CN102712078A ,2012-10-03
[9]
高导高硬铜-难熔金属薄膜及其制备方法 [P]. 
孙勇 ;
郭中正 ;
周铖 ;
刘国涛 .
中国专利 :CN101994086A ,2011-03-30
[10]
难熔金属氧化物的金属热还原 [P]. 
L·N·舍克特尔 ;
T·B·特里普 ;
L·L·拉宁 ;
A·M·孔伦 ;
H·V·戈德伯格 .
中国专利 :CN1304151C ,2004-08-25