曝光机的近似平行光控制增益结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN02205980.6

申请日：

2002-03-18

公开(公告)号：

CN2539206Y

公开(公告)日：

2003-03-05

发明(设计)人：

林严信

申请人：

申请人地址：

100015北京市朝阳区机场路草场地166号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳专利商标事务所

代理人：

贾晓玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-03-05	授权	授权
2006-05-10	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止

共 50 条

[1]

平行光曝光机的机架结构 [P].

韩懿琰 .

中国专利 :CN104635425A ,2015-05-20

[2]

平行光曝光机的机架结构 [P].

韩懿琰 .

中国专利 :CN203573082U ,2014-04-30

[3]

曝光机的平行光形成装置 [P].

范金刚 ;

蓝学军 .

中国专利 :CN204203630U ,2015-03-11

[4]

一种平行光曝光机的机架结构 [P].

刘世红 ;

郑志会 .

中国专利 :CN223679525U ,2025-12-16

[5]

UV LED光源结构和平行光曝光机 [P].

张河生 ;

唐威 ;

张春玲 .

中国专利 :CN105301910B ,2016-02-03

[6]

UV LED光源结构和平行光曝光机 [P].

张河生 ;

唐威 ;

张春玲 .

中国专利 :CN203870394U ,2014-10-08

[7]

UV LED光源结构及平行光曝光机 [P].

江海波 ;

孙秀辉 ;

蔡文涛 ;

杨正 ;

尹韶云 ;

杜春雷 .

中国专利 :CN205539935U ,2016-08-31

[8]

平行曝光机 [P].

周武 .

中国专利 :CN206249002U ,2017-06-13

[9]

平行光曝光机的同向开合装置 [P].

牛实利 .

中国专利 :CN202339475U ,2012-07-18

[10]

一种自动平行光曝光机 [P].

宋琴君 .

中国专利 :CN217238600U ,2022-08-19

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