平行光曝光机的机架结构

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310561114.9
申请日
2013-11-13
公开(公告)号
CN104635425A
公开(公告)日
2015-05-20
发明(设计)人
韩懿琰
申请人
申请人地址
214000 江苏省无锡市新区鸿山镇鸿声马桥村前房桥
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
代理机构
无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227
代理人
顾吉云
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
平行光曝光机的机架结构 [P]. 
韩懿琰 .
中国专利 :CN203573082U ,2014-04-30
[2]
一种平行光曝光机的机架结构 [P]. 
刘世红 ;
郑志会 .
中国专利 :CN223679525U ,2025-12-16
[3]
UV LED光源结构和平行光曝光机 [P]. 
张河生 ;
唐威 ;
张春玲 .
中国专利 :CN105301910B ,2016-02-03
[4]
UV LED光源结构和平行光曝光机 [P]. 
张河生 ;
唐威 ;
张春玲 .
中国专利 :CN203870394U ,2014-10-08
[5]
一种曝光机的前段机架结构 [P]. 
韩懿琰 .
中国专利 :CN203573083U ,2014-04-30
[6]
曝光机的近似平行光控制增益结构 [P]. 
林严信 .
中国专利 :CN2539206Y ,2003-03-05
[7]
一种曝光机的前段机架结构 [P]. 
韩懿琰 .
中国专利 :CN104635426A ,2015-05-20
[8]
曝光机的平行光形成装置 [P]. 
范金刚 ;
蓝学军 .
中国专利 :CN204203630U ,2015-03-11
[9]
UV LED光源结构及平行光曝光机 [P]. 
江海波 ;
孙秀辉 ;
蔡文涛 ;
杨正 ;
尹韶云 ;
杜春雷 .
中国专利 :CN205539935U ,2016-08-31
[10]
平行曝光机 [P]. 
周武 .
中国专利 :CN206249002U ,2017-06-13