工作台系统、工作台系统操作方法、检查工具、光刻设备、校准方法和装置制造方法

被引：0

申请号：

CN202080094891.5

申请日：

2020-12-21

公开(公告)号：

CN115023654A

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

黄仰山 R·维色

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

胡良均

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻设备、工作台系统和工作台控制方法 [P].

毛里求斯·G·E·斯克乃德斯 ;

威廉姆斯·F·J·西蒙斯 .

中国专利 :CN101464634A ,2009-06-24

[2]

工作台系统、光刻装置和器件制造方法 [P].

H·H·M·考克斯 ;

R·C·G·吉杰曾 ;

P·W·P·里姆彭斯 ;

B·F·里德斯特拉 ;

F·范德梅尤伦 .

中国专利 :CN109196425B ,2019-01-11

[3]

工作台系统、包括这种工作台系统的光刻设备及校正方法 [P].

W·H·G·A·考恩 ;

E·J·M·尤森 ;

E·A·F·范德帕斯卡 .

中国专利 :CN101487979A ,2009-07-22

[4]

工作台、工作台系统及控制方法 [P].

杨文祥 ;

韩金辉 ;

马惠娟 ;

李宝杰 .

中国专利 :CN111728358B ,2020-10-02

[5]

工作台系统、光刻设备、用于定位的方法以及器件制造方法 [P].

S·M·J·詹森斯 ;

B·D·肖尔滕 ;

S·N·L·唐德斯 ;

T·范达姆 ;

P·奥韦尔谢伊 ;

T·M·斯帕恩-布尔克 ;

S·A·特罗普 .

中国专利 :CN109416513B ,2019-03-01

[6]

工作台、检查装置以及工作台的动作方法 [P].

河西繁 ;

小林将人 ;

阿川裕晃 .

日本专利 :CN120283297A ,2025-07-08

[7]

工作台系统 [P].

邹明炳 ;

唐余武 .

中国专利 :CN106041604A ,2016-10-26

[8]

工作台系统 [P].

罗伯特·汉南 ;

尼基·保罗·斯科里金斯 .

中国专利 :CN101365362A ,2009-02-11

[9]

工作台系统 [P].

邹明炳 ;

唐余武 .

中国专利 :CN205968388U ,2017-02-22

[10]

工作台系统、基于工作台系统的功能模块加载方法和装置 [P].

刘吉振 .

中国专利 :CN118819898A ,2024-10-22

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