光刻设备、工作台系统和工作台控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810185622.0

申请日：

2008-12-17

公开(公告)号：

CN101464634A

公开(公告)日：

2009-06-24

发明(设计)人：

毛里求斯·G·E·斯克乃德斯威廉姆斯·F·J·西蒙斯

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

王波波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-06-24	公开	公开
2011-07-20	授权	授权

共 50 条

[1]

工作台、工作台系统及控制方法 [P].

杨文祥 ;

韩金辉 ;

马惠娟 ;

李宝杰 .

中国专利 :CN111728358B ,2020-10-02

[2]

工作台(控制工作台) [P].

梁树基 .

中国专利 :CN309557189S ,2025-10-24

[3]

工作台系统、包括这种工作台系统的光刻设备及校正方法 [P].

W·H·G·A·考恩 ;

E·J·M·尤森 ;

E·A·F·范德帕斯卡 .

中国专利 :CN101487979A ,2009-07-22

[4]

工作台系统、工作台系统操作方法、检查工具、光刻设备、校准方法和装置制造方法 [P].

黄仰山 ;

R·维色 .

中国专利 :CN115023654A ,2022-09-06

[5]

工作台系统 [P].

邹明炳 ;

唐余武 .

中国专利 :CN106041604A ,2016-10-26

[6]

工作台系统 [P].

罗伯特·汉南 ;

尼基·保罗·斯科里金斯 .

中国专利 :CN101365362A ,2009-02-11

[7]

工作台系统 [P].

邹明炳 ;

唐余武 .

中国专利 :CN205968388U ,2017-02-22

[8]

工作台（双屏工作台） [P].

吴立 .

中国专利 :CN306069108S ,2020-09-25

[9]

工作台（精品工作台） [P].

卢卡·迪切萨雷 .

中国专利 :CN307498315S ,2022-08-16

[10]

工作台(木器工作台) [P].

严长志 ;

许仕建 .

中国专利 :CN305043817S ,2019-02-22

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