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位置检测设备及方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110204824.0
申请日
:
2021-02-23
公开(公告)号
:
CN112985375A
公开(公告)日
:
2021-06-18
发明(设计)人
:
黄振卫
张锦松
申请人
:
申请人地址
:
100084 北京市海淀区清华园
IPC主分类号
:
G01C2100
IPC分类号
:
代理机构
:
北京安信方达知识产权代理有限公司 11262
代理人
:
栗若木
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-06-18
公开
公开
2021-07-06
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 21/00 申请日:20210223
共 50 条
[1]
位置检测装置、位置检测方法及光刻设备
[P].
郑哲
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
郑哲
.
中国专利
:CN118567188A
,2024-08-30
[2]
位置检测装置、位置检测方法以及位置检测系统
[P].
杉本勇次
论文数:
0
引用数:
0
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0
杉本勇次
;
池田正和
论文数:
0
引用数:
0
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0
池田正和
;
田中君明
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
田中君明
.
中国专利
:CN107924630A
,2018-04-17
[3]
位置检测装置及位置检测方法
[P].
松原正树
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
松原正树
.
中国专利
:CN101644980A
,2010-02-10
[4]
位置检测装置及位置检测方法
[P].
黄建发
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
黄建发
;
郭哲瑜
论文数:
0
引用数:
0
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0
郭哲瑜
;
李炜
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
李炜
;
薛媛
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
薛媛
.
中国专利
:CN102750051A
,2012-10-24
[5]
位置检测装置及位置检测方法
[P].
朝仓僚
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
株式会社和冠
株式会社和冠
朝仓僚
;
伊藤雅充
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
株式会社和冠
株式会社和冠
伊藤雅充
.
日本专利
:CN113168265B
,2024-07-19
[6]
位置检测装置及位置检测方法
[P].
铃木谦
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
铃木谦
.
中国专利
:CN103135838B
,2013-06-05
[7]
位置检测装置及位置检测方法
[P].
冈本裕司
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
冈本裕司
.
中国专利
:CN107662415B
,2018-02-06
[8]
位置检测装置及位置检测方法
[P].
黄建发
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
黄建发
;
郭哲瑜
论文数:
0
引用数:
0
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0
郭哲瑜
;
李炜
论文数:
0
引用数:
0
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0
李炜
;
薛媛
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
薛媛
.
中国专利
:CN102750050A
,2012-10-24
[9]
位置检测装置及位置检测方法
[P].
小山隆明
论文数:
0
引用数:
0
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0
小山隆明
.
中国专利
:CN104793809A
,2015-07-22
[10]
位置检测装置及位置检测方法
[P].
百濑正吾
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
百濑正吾
.
中国专利
:CN110118551A
,2019-08-13
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