位置检测设备及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202110204824.0
申请日
2021-02-23
公开(公告)号
CN112985375A
公开(公告)日
2021-06-18
发明(设计)人
黄振卫 张锦松
申请人
申请人地址
100084 北京市海淀区清华园
IPC主分类号
G01C2100
IPC分类号
代理机构
北京安信方达知识产权代理有限公司 11262
代理人
栗若木
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
位置检测装置、位置检测方法及光刻设备 [P]. 
郑哲 .
中国专利 :CN118567188A ,2024-08-30
[2]
位置检测装置、位置检测方法以及位置检测系统 [P]. 
杉本勇次 ;
池田正和 ;
田中君明 .
中国专利 :CN107924630A ,2018-04-17
[3]
位置检测装置及位置检测方法 [P]. 
松原正树 .
中国专利 :CN101644980A ,2010-02-10
[4]
位置检测装置及位置检测方法 [P]. 
黄建发 ;
郭哲瑜 ;
李炜 ;
薛媛 .
中国专利 :CN102750051A ,2012-10-24
[5]
位置检测装置及位置检测方法 [P]. 
朝仓僚 ;
伊藤雅充 .
日本专利 :CN113168265B ,2024-07-19
[6]
位置检测装置及位置检测方法 [P]. 
铃木谦 .
中国专利 :CN103135838B ,2013-06-05
[7]
位置检测装置及位置检测方法 [P]. 
冈本裕司 .
中国专利 :CN107662415B ,2018-02-06
[8]
位置检测装置及位置检测方法 [P]. 
黄建发 ;
郭哲瑜 ;
李炜 ;
薛媛 .
中国专利 :CN102750050A ,2012-10-24
[9]
位置检测装置及位置检测方法 [P]. 
小山隆明 .
中国专利 :CN104793809A ,2015-07-22
[10]
位置检测装置及位置检测方法 [P]. 
百濑正吾 .
中国专利 :CN110118551A ,2019-08-13