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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01G 4/005 申请日:20181026 |
| 2019-03-19 | 公开 | 公开 |
| 2021-10-29 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01G 4/005 登记生效日:20211019 变更事项:专利权人 变更前权利人:济南大学 变更后权利人:淄博高新技术产业开发区MEMS研究院 变更事项:地址 变更前权利人:250022 山东省济南市市中区南辛庄西路336号 变更后权利人:255000 山东省淄博市高新区政通路135号F座103室 |
| 2020-07-07 | 授权 | 授权 |