测量传感器，测量装置，识别模块，测量方法和校准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010224888.2

申请日：

2020-03-26

公开(公告)号：

CN111751591A

公开(公告)日：

2020-10-09

发明(设计)人：

迪尔克·拜纳汤米·文本松·罗

申请人：

申请人地址：

中国香港沙田

IPC主分类号：

G01R1518

IPC分类号：

G01R1900

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

丁永凡;张春水

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-09	公开	公开
2022-04-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 15/18 申请日:20200326

共 50 条

[1]

测量传感器，测量装置，识别模块，测量方法和校准方法 [P].

迪尔克·拜纳 ;

汤米·文 ;

本松·罗 .

中国专利 :CN111751591B ,2024-07-26

[2]

传感器布置，测量装置和测量方法 [P].

J·奈瑟 .

中国专利 :CN106796103A ,2017-05-31

[3]

传感器、测量装置以及测量方法 [P].

北胁文久 ;

龟井明仁 ;

河村达朗 .

中国专利 :CN1950694B ,2007-04-18

[4]

测量装置和测量方法 [P].

托马斯·阿尔伯 ;

约阿希姆·阿尔贝特 ;

拉尔夫·施托伊尔瓦尔德 ;

迈克尔·汉克 ;

安哥拉·奥比施 .

中国专利 :CN107085117B ,2017-08-22

[5]

间隙测量装置、间隙测量传感器及间隙测量方法 [P].

福山美笑 ;

近藤明生 ;

大西智之 ;

宫本贵洋 .

中国专利 :CN110546453A ,2019-12-06

[6]

压力传感器、测量装置、反应载体和测量方法 [P].

H-U.汉斯曼 ;

P.罗施塔尔斯基 .

中国专利 :CN105452831B ,2016-03-30

[7]

光刻系统、传感器和测量方法 [P].

彼得·克勒伊特 ;

马尔科·扬·哈科·威兰 ;

埃尔温·斯洛特 ;

蒂斯·弗兰斯·泰佩恩 ;

斯泰恩·威廉·卡雷尔·赫尔曼·斯腾布林克 .

中国专利 :CN101300656B ,2008-11-05

[8]

光刻系统、传感器和测量方法 [P].

彼得·克勒伊特 ;

马尔科·扬·哈科·威兰 ;

埃尔温·斯洛特 ;

蒂斯·弗兰斯·泰佩恩 ;

斯泰恩·威廉·卡雷尔·赫尔曼·斯腾布林克 .

中国专利 :CN103354201B ,2013-10-16

[9]

岩屑测量传感器及其测量方法 [P].

蒋仁斌 .

中国专利 :CN103105217A ,2013-05-15

[10]

单片传感器装置、制造方法和测量方法 [P].

弗雷德里克·威廉姆·毛里茨·万海尔蒙特 ;

内博伊沙·内纳多维茨 ;

希尔科·瑟伊 ;

霍曼·哈比比 .

:CN111801572B ,2024-03-01

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