一种晶片夹具及其清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011576376.9

申请日：

2020-12-28

公开(公告)号：

CN112547667A

公开(公告)日：

2021-03-26

发明(设计)人：

黄建友刘青彦杨清明

申请人：

申请人地址：

610000 四川省成都市高新区西部园区百叶路8号

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B302 B08B312 F26B906 F26B500

代理机构：

成都虹盛汇泉专利代理有限公司 51268

代理人：

周永宏

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-26	公开	公开
2021-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/08 申请日:20201228

共 50 条

[1]

一种晶片清洗方法 [P].

刘青彦 ;

杨清明 ;

黄建友 ;

唐浚淇 .

中国专利 :CN110047736A ,2019-07-23

[2]

一种晶片清洗方法 [P].

徐伟平 ;

刘树奇 ;

亓凯 .

中国专利 :CN103639149A ,2014-03-19

[3]

一种晶片清洗方法 [P].

郑金龙 ;

吴倩 ;

周铁军 ;

马金峰 ;

资云玲 .

中国专利 :CN114496730B ,2025-09-16

[4]

一种晶片清洗方法 [P].

郑金龙 ;

吴倩 ;

周铁军 ;

马金峰 ;

资云玲 .

中国专利 :CN114496730A ,2022-05-13

[5]

一种TFT液晶玻璃基板清洗液及其清洗方法 [P].

沈玉国 ;

张广涛 ;

李俊锋 ;

闫冬成 ;

侯建伟 ;

徐兴军 .

中国专利 :CN104277944A ,2015-01-14

[6]

一种磷化铟晶片及其混合清洗工艺 [P].

邓白鹭 ;

李海淼 .

中国专利 :CN114042684B ,2022-02-15

[7]

一种新型晶片清洗装置 [P].

谢建辉 ;

杨宗安 .

中国专利 :CN206701821U ,2017-12-05

[8]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

吉野道朗 ;

高桥正行 ;

松野行壮 ;

久保隆志 .

中国专利 :CN104347384A ,2015-02-11

[9]

一种清洗锗晶片的方法及其应用 [P].

任殿胜 ;

史铎鹏 ;

刘岩 .

中国专利 :CN114082740B ,2022-02-25

[10]

一种石英晶片的清洗方法及自动清洗装置 [P].

王莉 ;

王巍丹 ;

潘立虎 ;

郑文强 ;

牛磊 ;

崔巍 ;

段友峰 ;

刘小光 .

中国专利 :CN109647783A ,2019-04-19

← 1 2 3 4 5 →