一种PVD镀膜装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021984877.6
申请日
2020-09-11
公开(公告)号
CN213058849U
公开(公告)日
2021-04-27
发明(设计)人
张红星 张小健 樊天柱
申请人
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇宏洋路12号4号房
IPC主分类号
B65G2316
IPC分类号
B65G1560 B65G6532 B65G6900 C23C1400
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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