PVD镀膜设备清洁装置及具有其的PVD镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120528946.0

申请日：

2021-03-12

公开(公告)号：

CN215853592U

公开(公告)日：

2022-02-18

发明(设计)人：

洪昀朱玉龙蔡涔谷士斌任明冲

申请人：

申请人地址：

213200 江苏省常州市金坛市直溪镇工业集中区水南路1号

IPC主分类号：

B65G4510

IPC分类号：

代理机构：

杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250

代理人：

韩潇

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-03	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B65G 45/10 登记生效日:20221221 变更事项:专利权人变更前权利人:东方日升（常州）新能源有限公司变更后权利人:东方日升（江苏）新能源有限公司变更事项:地址变更前权利人:213200 江苏省常州市金坛市直溪镇工业集中区水南路1号变更后权利人:213251 江苏省常州市金坛区直溪镇工业集中区水南路1号
2022-02-18	授权	授权

共 50 条

[1]

PVD镀膜设备 [P].

夏益民 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN217955806U ,2022-12-02

[2]

镀膜设备（PVD） [P].

孙安 ;

张鹏蛟 ;

侯瑞 ;

刘友春 ;

许世全 ;

辛秉强 ;

高海琴 ;

李奎 ;

李玉斌 ;

张鸿 .

中国专利 :CN307491687S ,2022-08-09

[3]

PVD镀膜的方法及PVD镀膜装置 [P].

陈坚毅 ;

尹万锋 ;

薛涛 .

中国专利 :CN112281132A ,2021-01-29

[4]

PVD镀膜设备转架 [P].

郭栋 ;

张树玲 ;

甘志颖 ;

黄腾龙 ;

武帅政 ;

张瑞峰 ;

吴苏瑞 ;

郭峰 .

中国专利 :CN216404526U ,2022-04-29

[5]

微波激发PVD镀膜设备 [P].

王奉瑾 .

中国专利 :CN203128646U ,2013-08-14

[6]

一种PVD镀膜设备用的新型清洁装置 [P].

孙宏伟 ;

周喜金 .

中国专利 :CN223465211U ,2025-10-24

[7]

载板缓存装置及PVD镀膜设备 [P].

宋永明 .

中国专利 :CN210456544U ,2020-05-05

[8]

PVD镀膜装置 [P].

朱超 ;

魏兵 ;

丰新爱 ;

杨红涛 ;

李黎 ;

邱郁玟 ;

杨政纲 .

中国专利 :CN222313263U ,2025-01-07

[9]

PVD镀膜挂架 [P].

彭苏红 ;

廖勇 ;

祝恒 .

中国专利 :CN218262724U ,2023-01-10

[10]

PVD磁控溅射镀膜设备 [P].

郭俊 ;

张慧 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN117512544A ,2024-02-06

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