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PVD镀膜的方法及PVD镀膜装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011050399.6
申请日：
2020-09-29
公开(公告)号：
CN112281132A
公开(公告)日：
2021-01-29
发明(设计)人：
陈坚毅
尹万锋
薛涛
申请人：
申请人地址：
518129 广东省深圳市龙岗区坂田街道雅园路3号3楼、4楼、5楼、6楼的1、2、3、4层
IPC主分类号：
C23C1454
IPC分类号：
C23C1450
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
李睿
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-29 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-02 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/54 申请公布日:20210129 |
| 2021-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/54 申请日:20200929 |