对准偏差的测量方法

被引：0

申请号：

CN202211185276.2

申请日：

2022-09-27

公开(公告)号：

CN115602564A

公开(公告)日：

2023-01-13

发明(设计)人：

巫奉伦夏忠平王嘉鸿

申请人：

申请人地址：

362200 福建省泉州市晋江市集成电路科学园联华大道88号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L23544 G03F900 G01B2100

代理机构：

深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651

代理人：

汤金燕

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-13	公开	公开
2023-02-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20220927

共 50 条

[1]

对准测量方法 [P].

包巧霞 ;

邓贵红 ;

余志贤 .

中国专利 :CN105446090B ,2016-03-30

[2]

位移偏差测量方法 [P].

霍晔 ;

吴爱华 ;

王一帮 ;

刘晨 ;

栾鹏 ;

梁法国 ;

孙静 ;

陈晓华 ;

张立飞 ;

丁立强 .

中国专利 :CN114719710B ,2024-01-30

[3]

位移偏差测量方法 [P].

霍晔 ;

吴爱华 ;

王一帮 ;

刘晨 ;

栾鹏 ;

梁法国 ;

孙静 ;

陈晓华 ;

张立飞 ;

丁立强 .

中国专利 :CN114719710A ,2022-07-08

[4]

对准误差测量方法 [P].

齐月静 ;

杨光华 ;

王宇 ;

李璟 ;

卢增雄 ;

齐威 ;

孟璐璐 .

中国专利 :CN110967948B ,2020-04-07

[5]

套刻偏差的测量方法 [P].

张海 ;

杨晓松 ;

吴怡旻 .

中国专利 :CN114609090A ,2022-06-10

[6]

套刻偏差的测量方法 [P].

张海 ;

杨晓松 ;

吴怡旻 .

中国专利 :CN114609090B ,2025-12-19

[7]

节点偏差测量仪及节点偏差的测量方法 [P].

靳盼盼 ;

李勇 ;

甘水来 ;

黄祖钦 ;

金丽丽 .

中国专利 :CN109780962A ,2019-05-21

[8]

栅极线的对准测量方法 [P].

许波 ;

严萍 ;

杨川 ;

高晶 ;

喻兰芳 ;

丁蕾 .

中国专利 :CN107993952A ,2018-05-04

[9]

光学测量组件、对准测量装置及对准测量方法 [P].

陈跃飞 ;

徐兵 .

中国专利 :CN115542673A ,2022-12-30

[10]

自对准成像工艺硬掩膜层刻蚀偏差的测量方法 [P].

钱睿 ;

赖璐璐 ;

刘必秋 ;

张聪 .

中国专利 :CN114695121A ,2022-07-01

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