栅极线的对准测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711182124.6

申请日：

2017-11-23

公开(公告)号：

CN107993952A

公开(公告)日：

2018-05-04

发明(设计)人：

许波严萍杨川高晶喻兰芳丁蕾

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01B2100

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

刘广达

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-14	授权	授权
2018-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20171123
2018-05-04	公开	公开

共 50 条

[1]

对准测量方法 [P].

包巧霞 ;

邓贵红 ;

余志贤 .

中国专利 :CN105446090B ,2016-03-30

[2]

对准偏差的测量方法 [P].

巫奉伦 ;

夏忠平 ;

王嘉鸿 .

中国专利 :CN115602564A ,2023-01-13

[3]

对准标记线宽的测量方法及其测量系统 [P].

么铭怡 ;

周光迎 ;

李亮 ;

程修艳 ;

姜淼 ;

师江柳 .

中国专利 :CN121115412A ,2025-12-12

[4]

对准误差测量方法 [P].

齐月静 ;

杨光华 ;

王宇 ;

李璟 ;

卢增雄 ;

齐威 ;

孟璐璐 .

中国专利 :CN110967948B ,2020-04-07

[5]

光学测量组件、对准测量装置及对准测量方法 [P].

陈跃飞 ;

徐兵 .

中国专利 :CN115542673A ,2022-12-30

[6]

对准图形及测量方法 [P].

黄小迪 ;

黄浩玮 .

中国专利 :CN115586714A ,2023-01-10

[7]

激光工艺对准测量方法 [P].

T·马蒂拉 .

中国专利 :CN103481662B ,2014-01-01

[8]

对准误差测量方法及装置 [P].

李璟 ;

杨光华 ;

齐月静 ;

陈进新 ;

卢增雄 ;

折昌美 .

中国专利 :CN110824865A ,2020-02-21

[9]

光纤对准测量方法和装置 [P].

J.A.M.杜伊斯 ;

J.W.里特维尔德 .

中国专利 :CN102939554A ,2013-02-20

[10]

具有多重对准装置的光刻设备和对准测量方法 [P].

F·B·M·凡比尔森 .

中国专利 :CN1797204A ,2006-07-05

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