对准标记线宽的测量方法及其测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410756379.2

申请日：

2024-06-12

公开(公告)号：

CN121115412A

公开(公告)日：

2025-12-12

发明(设计)人：

么铭怡周光迎李亮程修艳姜淼师江柳

申请人：

北京超弦存储器研究院

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区科创十街18号院11号楼四层401室

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

姚姝娅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-12	公开	公开
2025-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240612

共 50 条

[1]

套刻对准标记及其测量方法 [P].

王清蕴 ;

杨晓松 .

中国专利 :CN104635440A ,2015-05-20

[2]

对准标记图像制作方法、对准标记测量方法及测量装置 [P].

陈跃飞 ;

徐兵 .

中国专利 :CN113048905B ,2021-06-29

[3]

线宽的测量方法 [P].

刘洋 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN115047722B ,2025-07-22

[4]

线宽的测量方法 [P].

刘洋 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN115047722A ,2022-09-13

[5]

测量方法、目标标记以及测量系统 [P].

山崎文敬 ;

狩野高志 ;

前田幸祐 .

日本专利 :CN117337376A ,2024-01-02

[6]

有效线宽扫频测量系统及测量方法 [P].

赵勇 .

中国专利 :CN104808159A ,2015-07-29

[7]

测量系统及其测量方法 [P].

林祐瑄 ;

刘大纲 .

中国专利 :CN110161977B ,2019-08-23

[8]

测量方法及其测量系统 [P].

顿胜堡 ;

吴忠宝 ;

孙力 ;

来航曼 ;

魏燕 ;

张志英 ;

赵伟利 .

中国专利 :CN107024337B ,2017-08-08

[9]

测量方法及其测量系统 [P].

陈鲁 ;

吕肃 ;

李青格乐 ;

张嵩 .

中国专利 :CN110940267A ,2020-03-31

[10]

测量系统及其测量方法、光刻设备 [P].

杨晨 ;

朱金台 ;

刘美娇 ;

高丹妮 ;

任文然 .

中国专利 :CN119717404A ,2025-03-28

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