线宽的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210669579.5

申请日：

2022-06-14

公开(公告)号：

CN115047722B

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

刘洋于世瑞

申请人：

上海华力集成电路制造有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F1/36 H01L21/66

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

刘昌荣

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	授权	授权

共 50 条

[1]

线宽的测量方法 [P].

刘洋 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN115047722A ,2022-09-13

[2]

在线宽度测量方法 [P].

卢治功 ;

贾志国 ;

黄海霞 ;

职连杰 ;

王书建 ;

马胜利 .

中国专利 :CN1136431C ,2001-08-08

[3]

一种线宽的测量方法 [P].

陈庆煌 ;

柯思羽 ;

陈国强 ;

刘志成 .

中国专利 :CN113053768A ,2021-06-29

[4]

对准标记线宽的测量方法及其测量系统 [P].

么铭怡 ;

周光迎 ;

李亮 ;

程修艳 ;

姜淼 ;

师江柳 .

中国专利 :CN121115412A ,2025-12-12

[5]

有效线宽扫频测量系统及测量方法 [P].

赵勇 .

中国专利 :CN104808159A ,2015-07-29

[6]

一种光栅线宽比测量方法 [P].

谢惠民 ;

朱荣华 ;

唐敏锦 ;

吴立夫 .

中国专利 :CN103149017B ,2013-06-12

[7]

一种动态线宽测量系统及其测量方法 [P].

赵灿 ;

李珍珺 ;

周雷 .

中国专利 :CN113726424A ,2021-11-30

[8]

红外波段化学激光线宽的测量装置及其测量方法 [P].

卢兴吉 ;

曹振松 ;

朱文越 ;

黄印博 ;

刘强 ;

黄宏华 ;

王英俭 .

中国专利 :CN113049120B ,2021-06-29

[9]

一种窄线宽高速扫频光源瞬时线宽测量方法、测量系统 [P].

王肇颖 ;

张杰 .

中国专利 :CN116593133B ,2025-08-12

[10]

线宽参数测量方法、装置及图像处理设备 [P].

张晓东 ;

李锁印 ;

韩志国 ;

赵琳 ;

许晓青 ;

吴爱华 .

中国专利 :CN113935974A ,2022-01-14

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