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一种动态线宽测量系统及其测量方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010452681.0
申请日
:
2020-05-26
公开(公告)号
:
CN113726424A
公开(公告)日
:
2021-11-30
发明(设计)人
:
赵灿
李珍珺
周雷
申请人
:
申请人地址
:
430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷三路777号3号电子厂房5楼南面
IPC主分类号
:
H04B10079
IPC分类号
:
代理机构
:
深圳市六加知识产权代理有限公司 44372
代理人
:
崔肖肖;向彬
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-11-30
公开
公开
共 50 条
[1]
一种线宽测量方法和线宽测量系统
[P].
曾赞廷
论文数:
0
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0
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0
曾赞廷
;
褚忠涛
论文数:
0
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褚忠涛
.
中国专利
:CN110057330A
,2019-07-26
[2]
一种动态测量系统及其测量方法
[P].
蒋金涛
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蒋金涛
;
丁海波
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丁海波
;
章湖
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章湖
;
应杰
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应杰
;
王雪鹏
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王雪鹏
.
中国专利
:CN111307198A
,2020-06-19
[3]
线宽测量方法
[P].
野上大
论文数:
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野上大
.
中国专利
:CN1804545A
,2006-07-19
[4]
线宽测量方法和线宽测量装置
[P].
王明望
论文数:
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王明望
.
中国专利
:CN113091673A
,2021-07-09
[5]
线宽测量方法和线宽测量装置
[P].
王明望
论文数:
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机构:
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
王明望
.
中国专利
:CN113091673B
,2024-07-16
[6]
线宽测量方法
[P].
尹海洲
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尹海洲
;
朱慧珑
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朱慧珑
;
骆志炯
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骆志炯
.
中国专利
:CN102437067A
,2012-05-02
[7]
线宽测量方法
[P].
张岳妍
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张岳妍
.
中国专利
:CN109751959B
,2019-05-14
[8]
一种光谱测量装置、制备方法和测量系统及其测量方法
[P].
尹金德
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尹金德
;
段辉雄
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段辉雄
;
闫培光
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闫培光
;
张敏
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张敏
;
陈浩
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陈浩
;
郭凯
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郭凯
.
中国专利
:CN111307747A
,2020-06-19
[9]
对准标记线宽的测量方法及其测量系统
[P].
么铭怡
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机构:
北京超弦存储器研究院
北京超弦存储器研究院
么铭怡
;
周光迎
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机构:
北京超弦存储器研究院
北京超弦存储器研究院
周光迎
;
李亮
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机构:
北京超弦存储器研究院
北京超弦存储器研究院
李亮
;
程修艳
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机构:
北京超弦存储器研究院
北京超弦存储器研究院
程修艳
;
姜淼
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机构:
北京超弦存储器研究院
北京超弦存储器研究院
姜淼
;
师江柳
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机构:
北京超弦存储器研究院
北京超弦存储器研究院
师江柳
.
中国专利
:CN121115412A
,2025-12-12
[10]
一种窄线宽高速扫频光源瞬时线宽测量方法、测量系统
[P].
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引用数:
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机构:
王肇颖
;
论文数:
引用数:
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机构:
张杰
.
中国专利
:CN116593133B
,2025-08-12
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