一种动态线宽测量系统及其测量方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010452681.0
申请日
2020-05-26
公开(公告)号
CN113726424A
公开(公告)日
2021-11-30
发明(设计)人
赵灿 李珍珺 周雷
申请人
申请人地址
430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷三路777号3号电子厂房5楼南面
IPC主分类号
H04B10079
IPC分类号
代理机构
深圳市六加知识产权代理有限公司 44372
代理人
崔肖肖;向彬
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种线宽测量方法和线宽测量系统 [P]. 
曾赞廷 ;
褚忠涛 .
中国专利 :CN110057330A ,2019-07-26
[2]
一种动态测量系统及其测量方法 [P]. 
蒋金涛 ;
丁海波 ;
章湖 ;
应杰 ;
王雪鹏 .
中国专利 :CN111307198A ,2020-06-19
[3]
线宽测量方法 [P]. 
野上大 .
中国专利 :CN1804545A ,2006-07-19
[4]
线宽测量方法和线宽测量装置 [P]. 
王明望 .
中国专利 :CN113091673A ,2021-07-09
[5]
线宽测量方法和线宽测量装置 [P]. 
王明望 .
中国专利 :CN113091673B ,2024-07-16
[6]
线宽测量方法 [P]. 
尹海洲 ;
朱慧珑 ;
骆志炯 .
中国专利 :CN102437067A ,2012-05-02
[7]
线宽测量方法 [P]. 
张岳妍 .
中国专利 :CN109751959B ,2019-05-14
[8]
一种光谱测量装置、制备方法和测量系统及其测量方法 [P]. 
尹金德 ;
段辉雄 ;
闫培光 ;
张敏 ;
陈浩 ;
郭凯 .
中国专利 :CN111307747A ,2020-06-19
[9]
对准标记线宽的测量方法及其测量系统 [P]. 
么铭怡 ;
周光迎 ;
李亮 ;
程修艳 ;
姜淼 ;
师江柳 .
中国专利 :CN121115412A ,2025-12-12
[10]
一种窄线宽高速扫频光源瞬时线宽测量方法、测量系统 [P]. 
王肇颖 ;
张杰 .
中国专利 :CN116593133B ,2025-08-12