线宽测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610004954.5

申请日：

2006-01-11

公开(公告)号：

CN1804545A

公开(公告)日：

2006-07-19

发明(设计)人：

野上大

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

胡建新

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-04-02	授权	授权
2015-07-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101717042149 IPC(主分类):G01B 11/02 专利号:ZL2006100049545 变更事项:专利权人变更前权利人:株式会社日立国际电气变更后权利人:株式会社V技术变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本神奈川县登记生效日:20150609
2006-07-19	公开	公开
2006-09-13	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

线宽测量方法 [P].

尹海洲 ;

朱慧珑 ;

骆志炯 .

中国专利 :CN102437067A ,2012-05-02

[2]

线宽测量方法 [P].

张岳妍 .

中国专利 :CN109751959B ,2019-05-14

[3]

线宽测量方法和线宽测量装置 [P].

王明望 .

中国专利 :CN113091673A ,2021-07-09

[4]

线宽测量方法和线宽测量装置 [P].

王明望 .

中国专利 :CN113091673B ,2024-07-16

[5]

线宽测量方法及设备 [P].

安永军 ;

王豪 ;

王峰 .

中国专利 :CN110491797A ,2019-11-22

[6]

一种线宽测量方法和线宽测量系统 [P].

曾赞廷 ;

褚忠涛 .

中国专利 :CN110057330A ,2019-07-26

[7]

线条三维形貌测量方法及线宽测量方法 [P].

高思田 ;

李伟 ;

王鹤群 ;

施玉书 ;

李琪 ;

李适 .

中国专利 :CN105157557A ,2015-12-16

[8]

线宽测量装置及方法 [P].

徐兵 ;

陈跃飞 ;

周畅 .

中国专利 :CN109425298B ,2019-03-05

[9]

一种动态线宽测量系统及其测量方法 [P].

赵灿 ;

李珍珺 ;

周雷 .

中国专利 :CN113726424A ,2021-11-30

[10]

一种窄线宽高速扫频光源瞬时线宽测量方法、测量系统 [P].

王肇颖 ;

张杰 .

中国专利 :CN116593133B ,2025-08-12

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