共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
线宽测量方法和线宽测量装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110307788.0
申请日：
2021-03-23
公开(公告)号：
CN113091673A
公开(公告)日：
2021-07-09
发明(设计)人：
王明望
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
IPC主分类号：
G01B2102
IPC分类号：
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
徐世俊
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/02 申请日:20210323 |
| 2021-07-09 | 公开 | 公开 |