线宽测量装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710776000.4

申请日：

2017-08-31

公开(公告)号：

CN109425298B

公开(公告)日：

2019-03-05

发明(设计)人：

徐兵陈跃飞周畅

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

G01B1114

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20170831
2019-03-05	公开	公开
2021-07-16	授权	授权

共 50 条

[1]

线宽测量方法和线宽测量装置 [P].

王明望 .

中国专利 :CN113091673A ,2021-07-09

[2]

线宽测量方法和线宽测量装置 [P].

王明望 .

中国专利 :CN113091673B ,2024-07-16

[3]

线宽测量方法 [P].

野上大 .

中国专利 :CN1804545A ,2006-07-19

[4]

线宽测量系统和线宽测量装置 [P].

范纪铭 ;

徐兵 ;

周畅 ;

陈跃飞 .

中国专利 :CN109211117A ,2019-01-15

[5]

线宽测量装置 [P].

深町哲昭 ;

大塚重信 ;

广川智 .

中国专利 :CN1844846A ,2006-10-11

[6]

线宽测量方法及设备 [P].

安永军 ;

王豪 ;

王峰 .

中国专利 :CN110491797A ,2019-11-22

[7]

线宽测量方法 [P].

尹海洲 ;

朱慧珑 ;

骆志炯 .

中国专利 :CN102437067A ,2012-05-02

[8]

薄膜线宽测量装置 [P].

刘红军 ;

陈星 ;

高海军 ;

刘军凯 ;

陈宝龙 ;

李宇 ;

马涛 .

中国专利 :CN302863846S ,2014-07-02

[9]

线宽测量方法 [P].

张岳妍 .

中国专利 :CN109751959B ,2019-05-14

[10]

太赫兹波线宽测量的装置及方法 [P].

徐德刚 ;

李佳起 ;

王与烨 ;

李忠孝 ;

闫超 ;

刘鹏翔 ;

石嘉 ;

严德贤 ;

徐文韬 ;

姚建铨 .

中国专利 :CN104614082A ,2015-05-13

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