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一种线宽测量方法和线宽测量系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910282144.3
申请日：
2019-04-09
公开(公告)号：
CN110057330A
公开(公告)日：
2019-07-26
发明(设计)人：
曾赞廷
褚忠涛
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
G01B2102
IPC分类号：
代理机构：
深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300
代理人：
黄威
法律状态：
著录事项变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-23 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G01B 21/02 变更事项:申请人 变更前:深圳市华星光电技术有限公司 变更后:TCL华星光电技术有限公司 变更事项:地址 变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |
| 2019-07-26 | 公开 | 公开 |
| 2019-08-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/02 申请日:20190409 |
| 2021-03-23 | 授权 | 授权 |